안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76882
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20277
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57200
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68755
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92711
69 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 5
68 플라즈마 식각 커스핑 식각량 33
67 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 210
66 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 73
65 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 260
64 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 415
63 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 799
62 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 324
61 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 300
60 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 628
59 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 255
58 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 399
57 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 674
56 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 284
55 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 363
54 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 625
53 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 1056
52 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 371
51 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 993
50 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 557

Boards


XE Login