번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] 75745
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19430
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56655
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67981
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90185
44 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 936
43 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 970
42 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1071
41 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1080
40 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1095
39 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1110
38 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1155
37 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1250
36 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1359
35 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 1557
34 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1645
33 터보펌프 에러관련 [1] 1670
32 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1694
31 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1754
30 doping type에 따른 ER 차이 [1] 1942
29 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2020
28 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2056
27 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2106
26 etching에 관한 질문입니다. [1] 2115
25 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2196
쓰기
태그

Boards

XE Login