Etch Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [Matcher와 dynamic impedance]

2020.06.12 10:42

오동근 조회 수:1486

안녕하십니까 RF Power 공급 업체에 다니고 있는 직장인 입니다.
 
한가지 궁금한 점이 있어서 질문 올립니다.
 
현재 장비사에서 다른 Power 업체에서 사용하던 것을 저희 업체로 변경 하여 사용했는데
 
공정 결과 ER이 20% 낮게 나왔다고 합니다.
 
공정 시 같은 Power, 같은 ICP설비 안테나로 진행 하였으며 RF Matcher와 RF Generator의 Maker만 바뀐 상황입니다.
 
이와 관련하여 혹시 Matcher가 ER을 낮게 할 수 있는 원인이 될 수 있는지 여부가 궁금합니다.
 
혹시 관련된 자료 있으면 링크좀 부탁드리겠습니다.
 
감사합니다.
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