안녕하세요 교수님

Etch시 센터와 사이드 etch rate이 다를 경우 어떤 공정 파라미터를 조절해야 하나요?


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39 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 318
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26 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 758
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