Etch O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의

2020.10.28 15:20

nons 조회 수:1186

안녕하십니까

반도체 소재 회사에 다니고 있는 노은수 입니다.

궁금한게 있어서 문의 드립니다.

 

O2 etch 후 gas의 접촉면과 닿은 polymer에서 아래의 그림과 같이 손톱모양으로 변성(?)이 되는 현상이 있는데 왜 이러한 현상이 발생 하는지 알고 싶습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77228
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68903
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92951
49 Polymer Temp Etch [1] 712
48 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 513
47 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 618
46 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1124
45 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1080
44 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2088
43 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2159
42 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3988
41 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1429
40 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2903
» O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1186
38 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1151
37 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2568
36 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2337
35 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1410
34 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1262
33 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6833
32 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 3068
31 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 2027
30 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2903

Boards


XE Login