번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4929
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16286
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63767
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83576
50 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 file 38
49 Polymer Temp Etch [1] 62
48 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 106
47 doping type에 따른 ER 차이 [1] 276
46 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 360
45 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 411
44 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 429
43 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 446
42 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 457
41 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 623
40 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 633
39 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 752
38 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 800
37 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 803
36 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 828
35 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 937
34 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 1005
33 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 1013
32 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1085
31 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1217
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