번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [257] 76444
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20001
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57074
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68544
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91350
67 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 21
66 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] update 27
65 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 137
64 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 189
63 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 249
62 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 272
61 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 294
60 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 338
59 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 339
58 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 364
57 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 366
56 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 385
55 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 429
54 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 520
53 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 572
52 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 588
51 Polymer Temp Etch [1] 611
50 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 634
49 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 645
48 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 826

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