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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20206 |
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문
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플라즈마 식각 시 notching 현상 관련
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GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문
[1] | 216 |
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Etch Plasma 관련 문의 건..
[1] | 238 |
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메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘
[1] | 273 |
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RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요?
[1] | 291 |
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RIE Gas 질문 하나 드려도될까요?
[1] | 317 |
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RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다.
[1] | 354 |
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텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량
[1] | 366 |
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애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다.
[1] | 387 |
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center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2
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AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제
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remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다.
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Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1] | 547 |
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플라즈마 샘플 위치 헷갈림
[1] | 604 |
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ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다.
[1] | 617 |
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Polymer Temp Etch
[1] | 663 |
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[재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스
[1] | 669 |
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center to edge 문제를 극복하기 위한 방법
[1] | 755 |
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RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다.
[1] | 844 |