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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량
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RIE Gas 질문 하나 드려도될까요?
[1] | 370 |
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메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘
[1] | 340 |
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RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요?
[1] | 337 |
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Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수]
[1] | 329 |
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GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문
[1] | 279 |
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플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성]
[1] | 276 |
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공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해]
[1] | 149 |
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Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포]
[1] | 137 |
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자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [부착물의 흡착 관리]
[1] | 106 |
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Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length]
[1] | 85 |
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플라즈마 식각 커스핑 식각량
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가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해]
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ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각]
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