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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[1]
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질문있습니다 교수님
[1] | 7031 |
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27 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 230 |
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26 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 502 |
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25 |
PEALD관련 질문
[1] | 422 |
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24 |
기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
[2] | 268 |
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23 |
PECVD 증착에서 etching 관계
[1] | 515 |
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22 |
[CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
[4] | 614 |
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21 |
magnetic substrate와 플라즈마 거동
[3] | 203 |
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20 |
Pecvd 장비 공정 질문
[1] | 508 |
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Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다.
[1] | 636 |
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18 |
플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 997 |
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17 |
플라즈마 색 관찰
[1] | 1653 |
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16 |
RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다.
[1] | 600 |
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15 |
Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화
[1] | 6985 |
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14 |
HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의
[1] | 1888 |
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13 |
플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다.
[1] | 6944 |
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플라즈마 데미지에 관하여..
[1] | 5812 |
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11 |
RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다.
| 27731 |
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10 |
RF에 대하여...
| 26524 |
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교육 기관 문의
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