Deposition PEALD관련 질문
2019.06.21 13:12
안녕하십니까?
현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...
PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.
PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
수고하십시오.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73025 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17615 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55515 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65695 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86026 |
| 32 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 474 |
| 31 | PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] | 1017 |
| 30 | SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] | 3657 |
| 29 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 744 |
| 28 | 질문있습니다 교수님 [1] | 17067 |
| 27 | CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] | 1205 |
| 26 | PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] | 2090 |
| » | PEALD관련 질문 [1] | 22117 |
| 24 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 550 |
| 23 | PECVD 증착에서 etching 관계 [1] | 1122 |
| 22 | [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] | 1083 |
| 21 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 383 |
| 20 | Pecvd 장비 공정 질문 [1] | 1237 |
| 19 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1184 |
| 18 | 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] | 1746 |
| 17 | 플라즈마 색 관찰 [1] | 3382 |
| 16 | RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] | 1551 |
| 15 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8143 |
| 14 | HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] | 2498 |
| 13 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 7679 |
에처 쪽의 PEALD 관심은 passivation 막 증착 과정의 세밀한 제어를 목적으로 할 것 같습니다. 공정 난도가 클 때 쓰는 기술로서 개발되는 것으로 알고 있습니다. 이 부분은 실공정 기술에 경험이 있는 팀이 잘 알것 같군요. 원리에 대해서는 많은 교재가 있는 것으로 알고 있습니다. 아울러 장비 쪽으로 문제를 보려면 아래 '질소 플라즈마..' 댓글로 부터 펄스 플라즈마 역할과 접목해서 문제를 보시기 바랍니다.