Deposition 질문있습니다 교수님
2020.05.06 15:46
안녕하세요. 이제 막 반도체 수업을 듣기시작한 학생입니다. 한 질문에 궁금증이 생겨 질문 남기게 되었습니다.
4인치 웨이퍼 기준 100nm 두께로 구리 등 금속 박막을 대량으로 하려면 어떻게 해야될까 인 부분이었습니다.
이때 제 생각으로는 CVD공정이 가장 적합한것이 아닌가? 라고 생각하면서도 각 공정마다 장단점이 있어 헷갈립니다.
PVD의 경우 증착속도가 느리고, ALD의 경우 낮은생산 성 등..
어떠한 공정이 가장 적합한 공정이 될 수 있는지 궁금합니다 감사합니다
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] | 75019 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18860 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56340 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66842 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88302 |
| 34 | PEALD관련 질문 [1] | 31884 |
| 33 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31281 |
| 32 | PECVD에서 플라즈마 damage가 발생 조건 | 29350 |
| 31 | RF에 대하여... | 29109 |
| 30 | 플라즈마 코팅에 관하여 | 22007 |
| 29 | 스퍼터링시 시편두께와 박막두께 [1] | 21330 |
| 28 | DC SPT 문의 | 19631 |
| 27 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19194 |
| » | 질문있습니다 교수님 [1] | 18883 |
| 25 | 증착에 대하여... | 18005 |
| 24 | 교육 기관 문의 | 17741 |
| 23 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15554 |
| 22 | 박막 형성 | 15219 |
| 21 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8217 |
| 20 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 7738 |
| 19 | 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] | 6318 |
| 18 | SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] | 3759 |
| 17 | 플라즈마 색 관찰 [1] | 3589 |
| 16 | HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] | 2571 |
| 15 | PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] | 2314 |
박막 관련해서는 군산대학교 주정훈교수님께 문의드려 보세요. 속시원한 답을 구할 수 있을 것입니다.