안녕하세요.

CVD공정쪽에서 일하고 있는 엔지니어 반형진입니다.

a-Si 증착 시 Vdc값이 증착된 막 내의 수소량에 어떻게

영향을 미치는지 알려주시면 정말 감사하겠습니다.  

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [110] 4865
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16211
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51247
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63741
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83499
30 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 339
29 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 341
28 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 482
27 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 518
26 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 954
» [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 973
24 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1014
23 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1029
22 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1051
21 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1456
20 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1552
19 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1607
18 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2304
17 플라즈마 색 관찰 [1] 2852
16 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6157
15 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7518
14 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 7960
13 질문있습니다 교수님 [1] 14968
12 박막 형성 15110
11 PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] 15470

Boards


XE Login