안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20046
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91560
36 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 148
35 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 220
34 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 386
33 PECVD Uniformity [1] 450
32 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 463
31 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 683
30 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 717
29 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1071
28 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1280
27 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1409
26 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1460
25 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1631
24 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1688
23 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1764
22 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1821
21 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 2231
20 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2871
19 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3171
18 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4112
17 플라즈마 색 관찰 [1] 4171

Boards


XE Login