Deposition 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다.
2013.07.18 16:47
지금 모기업에서 인턴을 하면서 CVD파트에 대해서 공부를 하고있습니다.
PECVD를 과정에서 플라즈마의 균일도가 중요 하다고 합니다.
이때 어떠한 변수들이 플라즈마의 균일도에 영향을 주는지 궁급합니다.
이와더불어 N2플라즈마와 수소플라즈마의 차이점에 대해서 알고 싶습니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] | 75026 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18868 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56342 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66859 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88341 |
34 | PEALD관련 질문 [1] | 31888 |
33 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31282 |
32 | PECVD에서 플라즈마 damage가 발생 조건 | 29352 |
31 | RF에 대하여... | 29118 |
30 | 플라즈마 코팅에 관하여 | 22008 |
29 | 스퍼터링시 시편두께와 박막두께 [1] | 21331 |
28 | DC SPT 문의 | 19631 |
27 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19195 |
26 | 질문있습니다 교수님 [1] | 18896 |
25 | 증착에 대하여... | 18005 |
24 | 교육 기관 문의 | 17743 |
23 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15554 |
22 | 박막 형성 | 15219 |
21 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8218 |
» | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 7739 |
19 | 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] | 6319 |
18 | SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] | 3762 |
17 | 플라즈마 색 관찰 [1] | 3604 |
16 | HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] | 2571 |
15 | PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] | 2321 |
아울러 N2 플라즈마와 H2 플라즈마의 일반적인 차이는 이온화, 해리 이온화률의 경로 차이가 큽니다. 이를 참고하여 N2 플라즈마 자체를 연구한 논문 (질화 및 이온주입 분야 논문)과 H2 플라즈마 생성 논문 주로 핵융합 이온원 소스 개발 등에서 참고하여 논문 찾기를 해 보시면 좋을 것입니다.