번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76632
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20135
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57143
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68661
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92098
15 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 403
14 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 543
13 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 874
12 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1497
11 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2332
10 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3597
9 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1700
8 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2572
7 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3676
6 chamber impedance [1] 2005
5 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5891
4 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7197
3 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24742
2 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24842
1 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27206

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