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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68541
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14 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24790
13 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24714
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11 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5817
10 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3578
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8 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2544
7 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2262
6 chamber impedance [1] 1989
5 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1667
4 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1461
3 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 845
2 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 526
1 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 340

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