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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64190
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34 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 464
33 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 764
32 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 877
31 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2443
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29 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 361
28 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 569
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26 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 509
25 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 5659
24 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 2875
23 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 9142
22 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2677
21 고온 플라즈마 관련 8028
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