안녕하십니까 교수님


공정 실습 중 Dechucking 이슈에 대해 궁금증이 있어 이렇게 글을 남깁니다.

제가 확인한 이슈는 dechucking 이후 핀업 진행 시 웨이퍼가 슬라이딩 하는 문제였는데, 해당 이슈에 대해 config값을 (0->5)변경하여 He flow가 되도록 조치했다는 것을 알았습니다.

chucking 과정중 He의 역할이 온도를 낮추는 역할 정도로 알고 있는데, He 가스가 chucking에서 어떤 역할들을 하는지 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5845
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17301
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53134
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64527
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85140
35 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 74
34 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 538
» Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 801
32 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 914
31 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2454
30 ICP 후 변색 질문 604
29 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 370
28 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 585
27 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 5912
26 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 524
25 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 5692
24 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3042
23 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 9407
22 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2774
21 고온 플라즈마 관련 8034
20 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6500
19 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7583
18 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19146
17 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 29273
16 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17072

Boards


XE Login