번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [46] 859
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 719
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49320
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58464
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 72454
23 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 336
22 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 350
21 고진공 만드는방법. [1] 670
20 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1286
19 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 356
18 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9035
17 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25240
16 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 23683
15 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 39201
14 석영이 사용되는 이유? [1] 19374
13 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 20802
12 Arcing [1] 26475
11 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24381
10 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] file 19832
9 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 25578
8 Ground에 대하여 30827
7 Peak RF Voltage의 의미 21779
6 Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. 16878
5 반응기의 면적에 대한 질문 12625
4 CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 18980

Boards


XE Login