번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76886
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20282
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57200
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68758
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92712
24 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41272
23 Ground에 대하여 39479
22 Arcing [1] 28666
21 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26489
20 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25587
19 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24779
18 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24619
17 Peak RF Voltage의 의미 22621
16 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 21112
15 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] file 20397
14 석영이 사용되는 이유? [1] 20039
13 CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 19354
12 MFC 19334
11 최적의 펌프는? 18547
10 Faraday shielding & Screening effect 18360
9 Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. 17348
8 반응기의 면적에 대한 질문 12813
7 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 10018
6 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2247
5 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1294

Boards


XE Login