안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76897
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20292
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57209
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68761
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92719
24 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 645
23 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 661
22 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 853
21 고진공 만드는방법. [1] 1015
20 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1298
19 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2248
18 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 10025
17 반응기의 면적에 대한 질문 12813
16 Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. 17348
15 Faraday shielding & Screening effect 18360
14 최적의 펌프는? 18547
13 MFC 19334
12 CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 19354
11 석영이 사용되는 이유? [1] 20040
10 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] file 20397
9 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 21114
8 Peak RF Voltage의 의미 22621
7 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24622
6 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24780
5 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25588

Boards


XE Login