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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[266]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
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Ground에 대하여
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22 |
Arcing
[1] | 28638 |
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공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제...
[2] | 26462 |
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스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요?
| 25580 |
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RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동
[1] | 24770 |
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18 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
| 24550 |
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Peak RF Voltage의 의미
| 22594 |
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전자파 누설에 관해서 질문드립니다.
[1] | 21109 |
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CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마...
[1] | 20375 |
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석영이 사용되는 이유?
[1] | 20009 |
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13 |
CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여
| 19339 |
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MFC
| 19319 |
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11 |
최적의 펌프는?
| 18536 |
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10 |
Faraday shielding & Screening effect
| 18346 |
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9 |
Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다.
| 17328 |
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반응기의 면적에 대한 질문
| 12809 |
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7 |
플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ
[1] | 9951 |
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6 |
Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요?
[1] | 2221 |
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반도체 관련 플라즈마 실험
[1] | 1210 |
