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18 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 3064
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14 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 1598
13 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1572
12 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1543
11 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1155
10 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1075
9 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 991
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