Others Microwave 장비 관련 질문
2013.08.20 16:19
안녕하세요 현재 반도체 관련 회사에 재직중인 직장인 입니다.
현재 저희 회사에서 Microwave 장비(Generator, RPS)에 관련 하여 시장 및 현 상황에 대한 조사를 하고 있습니다.
반도체 공정 (CVD,Etch,LCD) 쪽으로의 어느정도의 수요는 확인 되었지만 Microwave 를 사용한 Plasma 발생 하는 장비의 수가 (RF대비) 상대적으로 적은것으로 조사가 되었습니다.
제 짧은 지식으로는 공정의 Concept 가 중요하겠지만, Impedance matching 문제, 도파관 사용에 의한 설치문제, 그리고 2.45Ghz 라는 주파수의 Radical 적인 문제로 사용하는 수가 적은것으로 생각됩니다.
제 짧은 생각이 맞는지 궁금합니다. 그리고 반도체 공정 뿐만 아닌 다른 분야에서도 현재 사용되는 곳이 있는지 궁금합니다.
황당한 질문일수도 있겠지만 답변 부탁드립니다^^
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] | 75421 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19154 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56478 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67552 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89353 |
| 29 | Plasma source type | 78822 |
| 28 | 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? | 23181 |
| 27 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21269 |
| 26 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19276 |
| 25 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 15942 |
| 24 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14418 |
| 23 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9813 |
| » | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8471 |
| 21 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6304 |
| 20 |
코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.
[1]  | 5585 |
| 19 | 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] | 3762 |
| 18 | RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] | 3148 |
| 17 | PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] | 3074 |
| 16 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 2451 |
| 15 | ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] | 1814 |
| 14 | N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] | 1667 |
| 13 | ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] | 1605 |
| 12 | ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] | 1216 |
| 11 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1157 |
| 10 | micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] | 1122 |