Others RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [Arc와 cleaning]

2017.11.09 21:13

도도보이즈 조회 수:4055

안녕하세요,

재료공학과 연구실에서 연구를 하고 있는 대학원생입니다.

항상 좋은 답변 해주셔서 많은 도움을 받고 있습니다.

 

제가 이번에 Arcing 관련 이슈를 공부하고 있는데,

 

1. DC plasma에서의 arcing과 RF plasma에서의 arcing사이에 어떤 차이가 있는지 궁금합니다.

그리고,

2. RF plasma에서 발생하는 arcing을 줄일 수 있는 방법에는 어떠한 것들이 있는지도 궁금합니다.

 

감사합니다.

 

 

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