Others Microwave 장비 관련 질문

2013.08.20 16:19

jangew 조회 수:8561

안녕하세요 현재 반도체 관련 회사에 재직중인 직장인 입니다.

 

현재 저희 회사에서 Microwave 장비(Generator, RPS)에 관련 하여 시장 및 현 상황에 대한 조사를 하고 있습니다.

반도체 공정 (CVD,Etch,LCD) 쪽으로의 어느정도의 수요는 확인 되었지만 Microwave 를 사용한 Plasma 발생 하는 장비의 수가 (RF대비)  상대적으로  적은것으로 조사가 되었습니다.

제 짧은 지식으로는 공정의 Concept 가 중요하겠지만, Impedance matching 문제, 도파관 사용에 의한 설치문제, 그리고 2.45Ghz 라는 주파수의 Radical 적인 문제로 사용하는 수가 적은것으로 생각됩니다.

제 짧은 생각이 맞는지 궁금합니다. 그리고 반도체 공정 뿐만 아닌 다른 분야에서도 현재 사용되는 곳이 있는지 궁금합니다.

 

황당한 질문일수도 있겠지만 답변 부탁드립니다^^

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
29 Plasma source type 79617
28 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23371
27 Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 21307
26 AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... 19369
25 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16022
24 냉각수에 의한 Power Leak 14444
23 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9841
» Microwave 장비 관련 질문 [1] 8561
21 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6358
20 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5932
19 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 4361
18 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3379
17 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3314
16 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2617
15 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2176
14 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1791
13 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1716
12 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1410
11 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1332
10 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1267

Boards


XE Login