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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64541
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698 ICP lower power 와 RF bias [1] 114
697 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 80
696 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 34
695 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 117
694 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 76
693 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 172
692 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] 1108
691 plasma modeling 관련 질문 [1] 166
690 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 279
689 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 420
688 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 792
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686 ESC DC 전극 Damping 저항 166
685 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 345
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 248
683 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 265
682 RF Sputtering Target Issue [1] file 224
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 218
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 939
679 plasma striation 관련 문의 [1] file 226
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