Plasma in general Co-relation between RF Forward power and Vpp

2022.04.27 17:35

Akki 조회 수:594

Hello,

I am working on a ALD (Atomic layer deposition) product wherein we are processing multiple wafers in the single reactor. 

When we supply RF power to one of the reactor (i.e. REACTOR 1), the other reactor (REACTOR 2) beside reactor 1 is showing high Vpp value. We are not supplying RF power to reactor 2. (Please note reactor 1 & reactor 2 share the gas flow volume and are not fully isolated)
Why would this be happening ? 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76768
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20224
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57174
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68718
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92358
254 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 583
253 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 150
252 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 399
251 corona model에 대한 질문입니다. [1] 169
250 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 207
249 plasma 공정 중 색변화 [1] 611
248 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 316
247 self bias [1] 530
246 Self bias 내용 질문입니다. [1] 825
245 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 172
244 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 871
243 plasma modeling 관련 질문 [1] 387
242 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1132
241 플라즈마 관련 교육 [1] 1409
240 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 447
239 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1244
238 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 690
237 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 484
» Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 594
235 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1125
쓰기
태그

Boards

XE Login