안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.

최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데, 


1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?

2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?


바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76861
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20264
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57197
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68750
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92646
177 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13065
176 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12767
175 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. 12364
174 플라즈마 살균 방식 [2] 11479
173 DC bias (Self bias) [3] 11287
172 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10381
171 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9531
170 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9247
169 안녕하세요 교수님. [1] 9043
168 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8995
167 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8928
166 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8736
165 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8582
164 핵융합에 대하여 8564
163 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8126
162 MFP에 대해서.. [1] 7829
161 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6540
160 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6472
159 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6451
158 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6419

Boards


XE Login