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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다.
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CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
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N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
[1] | 380 |
128 |
연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준
[1] | 262 |
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ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다.
[1] | 348 |
126 |
Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록)
[1] | 609 |
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plasma 형성 관계
[1] | 500 |
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ICP 대기압 플라즈마 분석
[1] | 341 |
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RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계
[1] | 670 |
122 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 2298 |
121 |
RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
[1] | 419 |
120 |
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 961 |
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anode sheath 질문드립니다.
[1] | 414 |
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라디컬의 재결합 방지
[1] | 367 |
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PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 740 |
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PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1] | 2807 |
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CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응
[1] | 406 |
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플라즈마 챔버
[2] | 599 |
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안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
[1] | 1309 |
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ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
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