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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62987
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82071
131 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 18
130 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 265
129 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 380
128 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 262
127 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 348
126 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 609
125 plasma 형성 관계 [1] 500
124 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 341
123 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 670
122 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2298
121 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 419
120 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 961
119 anode sheath 질문드립니다. [1] 414
118 라디컬의 재결합 방지 [1] 367
117 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 740
116 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2807
115 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 406
114 플라즈마 챔버 [2] 599
113 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1309
112 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 507
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