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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68537
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152 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [1] file 45
151 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [1] 45
150 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 44
149 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 251
148 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 278
147 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 322
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145 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 571
144 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 548
143 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 603
142 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 378
141 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 569
140 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1053
139 ICP lower power 와 RF bias [1] 1335
138 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 547
137 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 581
136 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 986
135 plasma striation 관련 문의 [1] file 448
134 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1087
133 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1066

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