|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[332]
| 102746 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 24678 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 61391 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 73462 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 105797 |
|
173 |
Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다.
[1] | 195 |
|
172 |
RF BIAS REDLECT POWER HUNTING 문제
[1] | 273 |
|
171 |
CCP 장비 하부 전극 dc 펄스 전력
[1] | 391 |
|
170 |
동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문
[1] | 303 |
|
169 |
liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다.
[1] | 429 |
|
168 |
챔버의 Plasma density 확인방법 문의드립니다. [플라즈마 모니터링, OES, LP]
[1] | 747 |
|
167 |
ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias]
[1] | 683 |
|
166 |
micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장]
[1] | 564 |
|
165 |
Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파]
[1] | 288 |
|
164 |
CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching]
[1] | 603 |
|
163 |
Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어]
[1] | 336 |
|
162 |
Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다.
| 417 |
|
161 |
Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해]
[1] | 469 |
|
160 |
DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown]
[1] | 426 |
|
159 |
RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해]
[1] | 494 |
|
158 |
skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해]
[1] | 823 |
|
157 |
Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해]
[1] | 475 |
|
156 |
반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가]
[2] | 383 |
|
155 |
ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential]
[1] | 820 |
|
154 |
CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고]
[1]  | 660 |
