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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68663
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158 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 46
157 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 54
156 skin depth에 대한 이해 [1] 71
155 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 77
154 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 77
153 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 81
152 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 117
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150 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 143
149 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 244
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147 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 346
146 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 422
145 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 432
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141 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 511
140 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 512
139 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 516

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