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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20264
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57197
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68750
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92656
122 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 813
121 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 817
120 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 842
119 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 846
118 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 874
117 Plasma Generator 관련해서요. [1] 912
116 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 928
115 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 979
114 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 986
113 anode sheath 질문드립니다. [1] 997
112 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 1016
111 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1049
110 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1070
109 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1094
108 공정플라즈마 [1] 1156
107 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1171
106 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1184
105 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1194
104 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1205
103 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1213
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