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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68680
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35 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 441
34 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 864
33 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1114
32 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4793
31 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2002
30 CVD 공정에서의 self bias [1] 3089
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