번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76632
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20138
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57143
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68662
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92102
121 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 48
120 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 185
119 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 66
118 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 531
117 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 403
116 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 702
115 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 387
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 470
113 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 344
112 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 318
111 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 350
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 754
109 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 691
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 543
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 622
106 Plasma Arching [1] 1034
105 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1195
104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 874
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 806
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1003

Boards


XE Login