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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63782
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108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. [1] 46
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 32
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101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 692
100 RF matcher와 particle 관계 [2] 898
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 638
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97 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 830
96 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 12571
95 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 960
94 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 391
93 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 783
92 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1769
91 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1020
90 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 1736
89 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 610

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