Matcher CURRENT PATH로 인한 아킹

2023.08.22 11:19

생렬 조회 수:392

안녕하세요.교수님

 

이번에 설비사에서 Matcher Plate에 Matcher를 장착할 때 Plate와 Matcher 바닥면 사이 약간의 유격이 있는 상태에서 볼트로 체결하고 RF Power 13.56MHz 2kW 인가 해서 Output 커넥터(20PI 소캣타입)에 아킹이 발생 하였습니다. (크리피지 길이는 충분합니다.)

볼트로 체결하면서 Plate와 Matcher 사이는 완전이 붙었다곤 하지만 제생각엔 완전 면접촉 상태가 아니고 점접촉 상태에서 CURRENT PATH 때문에 아킹이 발생 한 것 같은데 이 원리를 이론적으로 잘 모르겠더라구요..

 

답변 부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20207
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68703
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92291
122 플라즈마 설비에 대한 질문 24
121 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 53
120 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 217
119 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 70
118 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 552
117 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 407
116 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 743
» CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 392
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 484
113 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 348
112 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 331
111 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 357
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 787
109 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 702
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 548
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 625
106 Plasma Arching [1] 1051
105 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1227
104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 885
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 815

Boards


XE Login