|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[332]
| 103136 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 24696 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 61483 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 73500 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 105908 |
|
44 |
RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화
[2]  | 403 |
|
43 |
HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다.
[2] | 463 |
|
42 |
스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
| 187 |
|
41 |
PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher]
[2] | 1179 |
|
40 |
RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭]
[2] | 1642 |
|
39 |
CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선]
[1] | 676 |
|
38 |
반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열]
[2] | 647 |
|
37 |
Plasma Arching [Plasma property]
[1] | 1404 |
|
36 |
RF 파워서플라이 매칭 문제
| 1018 |
|
35 |
RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]
[1] | 1371 |
|
34 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence]
[1] | 2084 |
|
33 |
임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량]
[1] | 1626 |
|
32 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
| 1663 |
|
31 |
매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산]
[1] | 2818 |
|
30 |
안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [회로인자 및 구동기구, 플라즈마 특성]
[1] | 6542 |
|
29 |
RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning]
[1] | 1456 |
|
28 |
Load position관련 질문 드립니다. [Impedance matching]
[1] | 2929 |
|
27 |
Interlock 화면.mag overtemp의 의미
| 721 |
|
26 |
Depostion 진행 중 matcher(shunt, series) 관계 질문 [Matcher와 VI sensor]
[3] | 4782 |
|
25 |
matcher에서 load, tune의 역할이 궁금합니다. [Matcher와 impedance]
[1] | 12620 |
