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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64541
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37 Plasma Arching [1] 442
36 RF 파워서플라이 매칭 문제 460
35 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 637
34 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 888
33 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 795
32 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1194
31 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 996
30 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1294
29 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 741
28 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2047
27 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 460
26 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2223
25 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 4008
24 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 662
23 임피던스 매칭회로 [1] file 2273
22 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4547
21 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5768
20 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1710
19 MATCHER 발열 문제 [3] 1225
18 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1244

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