Matcher CURRENT PATH로 인한 아킹

2023.08.22 11:19

생렬 조회 수:392

안녕하세요.교수님

 

이번에 설비사에서 Matcher Plate에 Matcher를 장착할 때 Plate와 Matcher 바닥면 사이 약간의 유격이 있는 상태에서 볼트로 체결하고 RF Power 13.56MHz 2kW 인가 해서 Output 커넥터(20PI 소캣타입)에 아킹이 발생 하였습니다. (크리피지 길이는 충분합니다.)

볼트로 체결하면서 Plate와 Matcher 사이는 완전이 붙었다곤 하지만 제생각엔 완전 면접촉 상태가 아니고 점접촉 상태에서 CURRENT PATH 때문에 아킹이 발생 한 것 같은데 이 원리를 이론적으로 잘 모르겠더라구요..

 

답변 부탁드립니다

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20207
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68703
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92294
42 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 70
41 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 552
40 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 743
» CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 392
38 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 348
37 Plasma Arching [1] 1051
36 RF 파워서플라이 매칭 문제 815
35 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1008
34 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1518
33 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1270
32 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1459
31 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1850
30 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2320
29 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1113
28 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2438
27 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 585
26 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3927
25 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10355
24 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 840
23 임피던스 매칭회로 [1] file 2804
쓰기
태그

Boards

XE Login