Etch GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문
2023.07.13 17:52
최근 온실 GAS 문제로 인하여 Etch공정 gas를 변경하고 있는 개발을 추진하고있다고 어느 강연에서 교육을 받았습니다.
제가 궁금한 점은 변경되는 Etch공정 gas 로인하여 Pump 내부의 부식에 대한 부분입니다. (Pump 는 대부분 주철로 구성됨)
혹시 부식성Gas에 대한 부식rate가 따로 존재하는지 궁금합니다.
Gas마다 부식의 정도 값 으로 정의 된것이 있을까요?
예로) CHF3 에서 C6F12O 로 대채 한다고 하는데 부식의 정도가 어느정도 바뀌는지가 궁금합니다.
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저희는 아직 펌프와 온실가스 문제를 다루지 못하고 있습니다. 자료가 없네요. 혹시 표준연구소 진공센터에는 자료가 있을지 모르겠습니다. 미안합니다.