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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64472
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85086
114 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 2827
113 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1961
112 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 439
111 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1233
110 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1953
109 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 910
108 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2536
107 PEALD관련 질문 [1] 21286
106 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 879
105 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 525
104 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1501
103 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1063
102 터보펌프 에러관련 [1] 1536
101 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 944
100 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2451
99 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1048
98 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 367
97 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1169
96 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1576
95 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 995

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