번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [252] 76384
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19968
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57056
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68521
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91227
36 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 119
35 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 210
34 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 366
33 PECVD Uniformity [1] 370
32 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 456
31 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 657
30 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 709
29 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1048
28 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1272
27 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1397
26 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1425
25 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1600
24 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1654
23 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1719
22 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1797
21 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 2198
20 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2843
19 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3104
18 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4081
17 플라즈마 색 관찰 [1] 4126

Boards


XE Login