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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20229 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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강의를 들을 수 없는건가요?
[2] | 1449 |
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입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
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329 |
안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다.
[3] | 5914 |
328 |
3-body recombination 관련 문의드립니다.
[2] | 967 |
327 |
RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이
[4] | 6259 |
326 |
핵융합 질문
[1] | 567 |
325 |
Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
[1] | 636 |
324 |
잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다.
[1] | 1967 |
323 |
CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활
[1] | 7655 |
322 |
ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2] | 1274 |
321 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
| 1414 |
320 |
SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다.
[1] | 5292 |
319 |
코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.
[1] | 6012 |
318 |
RF Power reflect 관련 문의 드립니다.
[4] | 8306 |
317 |
모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의
| 6074 |
316 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 2496 |
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HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다.
[1] | 3923 |
314 |
Ar plasma power/time
[1] | 1437 |
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RPSC 관련 질문입니다.
[2] | 4023 |
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안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다.
[1] | 17472 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.