Others O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154
2017.04.26 14:11
안녕하세요. 반도체 회사에 근무 중인 김동조입니다.
소자제작 공정중 O2 플라즈마를 이용하여 표면을 처리하는 부분이 있습니다.
공정 조건은 300w, 300sccm 0.04mbar 이며 친수성을 위한 표면 처리를 하고 있습니다.
제가 궁금한 사항은 일반 상온에서의 표면의 플라즈마 효과가 어느정도 지속이 되는 것인가와,
플라즈마 처리를 한 상태에서 오븐에서 120도 12시간 열처리를 하였을 경우 플라즈마의 효과가 유효한 것인지 궁금합니다.
플라즈마에 관한건 이론적으로만 간단히 알고있었을뿐 회사에 들어오고 처음 사용해 보는 것이라 감이 잘 잡히지 않습니다.
번거로우시겠지만 답변 부탁드립니다.!!
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20207 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92290 |
349 | RF frequency와 RF power 구분 | 39063 |
348 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2281 |
347 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2765 |
346 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
345 | Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] | 3530 |
» | O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] | 6413 |
343 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8596 |
342 | 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] | 1900 |
341 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 432 |
340 | 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] | 920 |
339 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 5152 |
338 | 가입인사드립니다. [1] | 1880 |
337 | 문의 드립니다. [1] | 868 |
336 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 657 |
335 | dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] | 1402 |
334 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1423 |
333 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1022 |
332 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6182 |
331 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1445 |
330 | 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate | 373 |
실험이 필요한 부분으로, 아쉽게도 저희는 관련 자료가 없네요. 혹시 유관 분야의 분께서 답변을 올려 주시면 감사하겠습니다..