Plasma in general 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다.
2021.10.27 15:55
안녕하세요. 감사하게도 플라즈마에 관한 수많은 질문과 답변들을 읽으며 많은 도움을 받고 있습니다.
저는 수도권 내 대학 기계공학과에 재학중인 학부연구생입니다.
다름이 아니라, 이번에 새로운 프로젝트를 기획하게 되었는데,
주제는 "DBD플라즈마를 활용한 마스크 소독기"가 되었습니다. 지름 150mm, 높이 200mm 수준의 실린더형 제품으로 구상중입니다.
드릴 질문은 다음과 같습니다.
1. DBD plasma generator 설계에 있어 플라즈마 리액턴트에 관한 조언
2. Parallel Plates 혹은 원통형의 DBD 플라즈마를 구성함에 있어 중요한 공정 변수들(rf generator, 전극과 유전체의 재료 properties, 전극과 유전체 사이 간격, 원통의 길이 등)
3. 소독이 진행 되어질 챔버(폴리머 or 메탈)에관한 전문가님들의 조언이 필요하게 되어 글을 작성하게 되었습니다.
바쁘신 와중에 읽어주셔서 감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76875 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20274 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68751 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92698 |
| 797 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 11 |
| 796 | Druyvesteyn Distribution | 13 |
| 795 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 22 |
| 794 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 27 |
| 793 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 42 |
| 792 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 60 |
| 791 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 64 |
| 790 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 65 |
| 789 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 71 |
| 788 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 71 |
| 787 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 71 |
| 786 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 79 |
| 785 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 79 |
| 784 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 92 |
| 783 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 94 |
| 782 | RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] | 117 |
| 781 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 117 |
| 780 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 120 |
| 779 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 138 |
| 778 | Microwave & RF Plasma [1] | 138 |
저희 보다는 광운대학교 최은하교수님 연구실에서 좀 더 좋은 답변을 구할 수 있을 것 같습니다. 또는 핵융합 연구소의 김성봉박사님 연구 팀에 문의드려 보시길 추천합니다. 방전기가 가지는 임피던스와 가용 주파수 조건에서 matching 의 필요성 여부를 확인해 보세요. 플라즈마가 발생되면 상압 플라즈마의 임피던스더 어떻게 알 수 있는가 같이 공부해 보면 좋을 것 같습니다.