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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70496
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425 Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 1003
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 1550
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 546
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 6070
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1313
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 594
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1165
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17561
417 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 572
416 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 973
415 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 825
414 etching에 관한 질문입니다. [충돌 현상 및 이온화 과정] [1] 2458
413 코로나 방전의 속도에 관하여 [코로나 방전의 이해] [1] 3546
412 RF Vpp관련하여 문의드립니다. [Self bias와 플라즈마 쉬스] [1] 5929
411 DRAM과 NAND 에칭 공정의 차이 ["플라즈마 식각 기술"] [1] 5712
410 (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 579
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