번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20490
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57409
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68939
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92987
150 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 661
149 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 653
148 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 648
147 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 643
146 RF Sputtering Target Issue [2] file 642
145 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 642
144 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 641
143 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 635
142 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 633
141 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 632
140 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 632
139 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 632
138 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 621
137 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 620
136 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 619
135 PECVD Uniformity [1] 617
134 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 615
133 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 608
132 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 607
131 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 606

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