Others DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지

2023.12.05 19:04

양은혁 조회 수:138

안녕하세요. 기업에서 플라즈마를 활용해 연구 중인 직장인입니다.

 

아직은 배우고 있는 단계라서 정확히는 모르지만 실험중 일어난 현상에 대해서 조언을 구하고자 질문 드립니다.

 

석영관을 유전체, 황동을 금속전극으로 Ar가스로 실험중에 석영관이 검게 타면서 작게 구멍이 났습니다. 

 

이런 현상이 자주 발생하는 건지, 그리고 발생하는 원인에 대해서 조언을 구합니다.

 

감사합니다.  

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [272] 76806
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20240
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57185
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68736
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92561
792 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] update 4
791 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] update 32
790 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 44
789 플라즈마 설비에 대한 질문 51
788 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 59
787 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 64
786 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 67
785 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 70
784 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 76
783 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 84
782 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 100
781 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 102
780 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 109
779 Microwave & RF Plasma [1] 127
778 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 128
777 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 131
» DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 138
775 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 138
774 ICP에서 전자의 가속 [1] 149
773 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 151
쓰기
태그

Boards

XE Login