공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[271]
| 76794 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20230 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57178 |
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 68723 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 92503 |
751 |
RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다.
[1] | 257 |
750 |
gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다
[1] | 257 |
749 |
메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘
[1] | 273 |
748 |
RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요?
[1] | 292 |
747 |
Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다.
[1] | 311 |
746 |
RF sputter 증착 문제 질문드립니다.
[1] | 313 |
745 |
E-field plasma simulation correlating with film growth profile
[1] | 318 |
744 |
RIE Gas 질문 하나 드려도될까요?
[1] | 318 |
743 |
공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 321 |
742 |
플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할
[1] | 322 |
741 |
PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다.
[1] | 336 |
740 |
Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정
| 342 |
739 |
plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다
[1] | 350 |
738 |
반사파와 유,무효전력 관련 질문
[2] | 352 |
737 |
RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다.
[1] | 355 |
736 |
chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의
[1] | 359 |
735 |
ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유
[1] | 360 |
734 |
텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량
[1] | 367 |
733 |
입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
| 374 |
732 |
standing wave effect, skin effect 원리
[1] | 384 |