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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68745
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162 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. new 2
161 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 15
160 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 18
159 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 79
158 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 88
157 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 107
156 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 113
155 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 142
154 ICP에서 전자의 가속 [1] 151
153 skin depth에 대한 이해 [1] 161
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151 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 171
150 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 183
149 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 251
148 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 326
147 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 361
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145 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 447
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