번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [158] 72988
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17580
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55511
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65680
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85997
26 ICP lower power 와 RF bias [1] 368
25 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 431
24 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 507
23 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 539
22 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 752
21 공정플라즈마 [1] 891
20 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 989
19 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1237
18 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1304
17 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1349
16 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1428
15 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1471
14 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1485
13 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1677
12 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1855
11 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2164
10 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2643
9 ICP TORCH의 냉각방법 15823
8 ccp-icp 20884
7 F/S (Faraday Shield) file 21038

Boards


XE Login